زاویۀ انحرافdeflection angleواژههای مصوب فرهنگستانزاویهای افقی که با ادامه دادن خط قبلی در سمت چپ یا راست خط بعدی اندازهگیری میشود
واکانونش انحرافیdeflection defocusingواژههای مصوب فرهنگستانکاهش کانونیشدن باریکهای از الکترونها وقتی که فاصلة آن از محور اولیه زیاد میشود