focused ion beam lithographyفرهنگ لغات علمیلیتوگرافی باریکه یونی متمرکزشده لیتوگرافی باریکه یونی متمرکز شده
جانبینگارهlaterolog, guard log, focused logواژههای مصوب فرهنگستاننگارۀ مقاومتویژهای که معمولاً خاص گلهای نمکی است و با گمانهای کانونیشده بهوسیلۀ الکترودهای محافظ به دست میآید